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离子氮化炉漏气应该如何检测

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离子氮化炉漏气应该如何检测

发布日期:2019-07-01 编辑:热博电竞 点击:

热博电竞厂家告诉你离子氮化炉漏气应该如何检测:

一步:首先将离子氮化炉体与供气系统分离,目的是分清漏气是由炉体造成的还是由供气系统造成的.将进气管与钟罩分离,然后将进气接头处封死启动真空泵抽真空,抽到较高真空度(如30Pa左右或更高)后,关闭蝶阀,停顿一段时间(15-30分钟)后,观察设备的漏气情况。

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第二步:在完成一步工作后,若离子氮化炉体漏气,则应逐个检查可能产生漏气的各密封部位(包括观察窗,充气装置,钟罩下部密封法兰面,底盘上的大密封 圈,测压部分密封处,阴极部位密封处,蝶阀及抽气管道之间的联结法兰面等),直至离子氮化炉体基本不漏气为止.注意:在实施以下检查步骤时,要遵循"分 段"检查法的原则,即一个步骤一个步骤进行,每完成一个检查步骤后,抽真空观察检查效果,如果漏气问题得以解决,则不再进行其它检查.否则,再依次做检查

第三步:在完成一步的工作后,若离子氮化炉体不漏气,说明炉体各个密封部位完好.接着再慢慢地打开蝶阀,此时可能出现以下两种情况。

第四步:在完成前三步工作,已解决离子氮化炉体漏气问题或确认漏气不是由炉体引起后,重新将第一步中与离子氮化炉体脱离的进气管连接到炉体钟罩上(并保证 接头处密封完好),先关死各流量计,再启动真空泵对炉体抽真空.此步骤的目的是检查供气系统的漏气情况.若发现设备又存在漏气,可检查进气接头部分,气 管,各种气源流量汇流三通各连接处的密封情况,直至漏气问题排除。


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